超纯电子级双氧水
本品主要用作集成电路板上含金属部分表面的腐蚀和硅晶片与集成电路的清洗等，有超大规模集成电路级（VLSI级）和标准电子级（EL级）。
质量指标符合Q/JX001-1999标准要求
| 项
目 |
指
标 |
| VLSI级 |
EL级 |
| 1.
含量，%（W/W）
≥ |
30 |
30 |
| 2. 游离酸(以H2SO4计)
， PPM ≤ |
30 |
30 |
| 3. 不挥发物，
PPM ≤ |
20 |
-- |
| 4. 有机碳（TOC），
PPM ≤ |
-- |
20 |
| 5. 氯化物(Cl)，
PPM ≤ |
0.5 |
0.5 |
| 6. 磷酸盐(PO4)，
PPM ≤ |
1 |
2 |
| 7. 硫酸盐(SO4)， PPM
≤ |
1 |
5 |
| 8. 总氮(N)，
PPM ≤ |
2 |
-- |
| 9. 铁(Fe)
，
PPM ≤ |
0.03 |
0.05 |
| 10. 镍(Ni)，
PPM
≤ |
0.01 |
0.05 |
| 11. 铜(Cu)，
PPM ≤ |
0.01 |
0.05 |
| 12. 镉(Cd)，
PPM
≤ |
0.01 |
0.05 |
| 13. 铅(Pb)，
PPM
≤ |
0.01 |
0.3 |
| 14. 砷(As)，
PPM
≤ |
0.01 |
0.01 |
| 15. 铝(Al)，
PPM
≤ |
0.1 |
0.5 |
| 16. 铬(Cr)，
PPM
≤ |
0.01 |
0.05 |
| 17.
锌(Zn)， PPM
≤ |
0.05 |
0.1 |
| 18. 钙(Ca)，
PPM
≤ |
0.05 |
0.2 |
| 19. 镁(Mg)，
PPM
≤ |
0.05 |
0.1 |
| 20. 钠(Na)，
PPM
≤ |
0.05 |
0.5 |
| 21. 钾(K)，
PPM ≤ |
0.05 |
0.5 |
| 22. 锰(Mn)，
PPM
≤ |
0.01 |
0.05 |
| 23. 钼(Mo)，
PPM
≤ |
0.01 |
-- |
| 24. 钛(Ti)，
PPM
≤ |
0.01 |
0.3 |
| 25. 硼(B)，
PPM ≤ |
0.02 |
0.1 |
| 26. 锡(Sn)，
PPM
≤ |
0.02 |
1 |
| 27. 金(Au)，
PPM
≤ |
0.02 |
0.3 |
| 28. 银(Ag)，
PPM
≤ |
0.02 |
-- |
| 29. 铵(NH4)，
PPM
≤ |
2 |
-- |
| 30. 钡(Ba)，
PPM
≤ |
0.05 |
-- |
| 31. 钴(Co)，
PPM
≤ |
0.01 |
-- |
| 32. 铂(Pt)，
PPM
≤ |
0.02 |
-- |
| 33. 铋(Bi)，
PPM
≤ |
0.02 |
-- |
| 34. 铟(In)，
PPM
≤ |
0.02 |
-- |
| 35. 锂(Li)，
PPM
≤ |
0.01 |
-- |
| 36. 锶(Sr)，
PPM
≤ |
0.01 |
-- |
| 37. 铊(Tl)，
PPM
≤ |
0.02 |
-- |
| 38. 铍(Be)，
PPM
≤ |
0.01 |
-- |
| 39. 镓(Ga)，
PPM
≤ |
0.02 |
-- |
| 40. 锗(Ge)，
PPM
≤ |
0.02 |
-- |
| 41. 钒(V)，
PPM
≤ |
0.01 |
-- |
| 42. 锆(Zr)，
PPM ≤ |
0.01 |
-- |
|
